《表2 四种机理模型的信息对比》

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《自组织分层金属掺杂类金刚石薄膜的研究进展》

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由表2可以看出，这四种机理模型对SOM结构的形成过程和影响因素的解释各有差异，其中离子重排和强离子辐照诱导机理两者除了偏析原子种类不同外，有很多相似阐述，更侧重于离子撞击而引发的相分离现象。而金属催化机理与前两个机理模型差异较大，靶中毒机理则是在金属催化机理上的延伸。此外，这四种机理均不具有普适性，单一机理可能只能较好地适用于某一变化参数，如金属种类-金属催化机理、基体偏压-强离子辐照诱导机理等。因此，对于这些机理的合理性还需进一步的研究确认。