《表2 不同沉积温度下NiCrAlY/Ag复合薄膜的EDS分析》

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《沉积温度对NiCrAlY/Ag复合薄膜结构及性能的影响》


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不同沉积温度下复合薄膜的表面元素含量见表2。由表2可以发现,薄膜表面元素的相对原子含量存在的差异很小,说明沉积温度对薄膜表面元素含量分布的影响并不显著。