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目录1

第一章 分子束外延概述1

1.1什么是外延1

1.2分子束外延4

第二章 超高真空与分子束9

2.1超高真空的必要性9

2.2分子束的产生12

2.3分子束的检测22

第三章 分子束与固体表面的相互作用及晶体生长过程27

3.1吸附和脱附27

3.2固体表面的运动学37

3.3采用分子束外延生长晶体的例子43

第四章 生长层的评价50

4.1用电子束进行评价50

4.2电气评价69

4.3光学评价72

第五章 分子束外延的应用79

5.1电子器件79

5.2光电器件85

5.3多层周期结构及其应用89

结束语96

参考资料99

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