《电子束和离子束加工》

目录1

第一章 电子束加工简介1

第一节 电子束加工的发展1

第二节 电子束加工工艺3

第三节 电子束加工的特点4

第四节 电子束加工的意义6

第二章 电子束加工的电子光学基础7

第一节 电子的运动7

第二节 电子枪9

第三节 磁透镜和磁偏转器19

第一节 高能量密度电子束加工38

第三章 电子束精微加工38

第二节 电子束精微加工机43

第三节 电子束精微加工工艺50

第四节 电子束精微加工的应用55

第四章 电子束焊接、镀膜、熔炼和热处理62

第一节 电子束焊接62

第二节 电子束镀膜82

第三节 电子束熔炼86

第四节 电子束热处理88

第五章 微细加工中的曝光技术94

第一节 电子束曝光94

第二节 扫描电子束曝光98

第三节 投影电子束曝光120

第四节 软X射线曝光129

第六章 离子束加工简介137

第一节 离子束加工原理137

第二节 离子束加工设备139

第三节 离子束加工的应用143

第七章 离子束刻蚀147

第一节 离子束刻蚀原理147

第二节 离子束刻蚀工艺158

第三节 离子源186

第四节 离子束刻蚀的应用212

第八章 溅射镀膜230

第一节 溅射镀膜原理231

第二节 溅射镀膜工艺245

第三节 溅射镀膜技术的应用259

第九章 离子镀266

第一节 离子镀技术基础267

第二节 离子镀的类型277

第三节 离子镀设备286

第四节 离子镀的应用290

第十章 离子注入299

第一节 离子注入的特点299

第二节 离子注入原理302

第三节 离子注入装置314

第四节 离子注入工艺319

第五节 离子注入的应用321