《电子束与离子束 译文集》求取 ⇩

能提供微米级和埃级探针的缩小系统的电子光学设计1

点阴极枪的色差系数22

修正钟形场模型的静电四极透镜的三级象差25

静电对称四极透镜偶的球面象差43

电子束固化装置用的四极透镜系统53

对电子敏感的聚合物膜的曝光特性58

聚合物膜上拍照的电子显微镜图象的干扰色观测64

利用电子束曝光光致抗蚀剂来制造微型图案73

使用飞点型控制系统的电子束微型加工与微型记录93

利用环氧树脂模铸电子束设备的直流高压电源105

研究离子在气体中加工和穿透距离时使用差动式抽气系统的离子束装置116

用氩离子轰击法把铝和锑注入硅内128

1972《电子束与离子束 译文集》由于是年代较久的资料都绝版了,几乎不可能购买到实物。如果大家为了学习确实需要,可向博主求助其电子版PDF文件(由《电子束资料组》译 1972 北京:科学出版社 出版的版本) 。对合法合规的求助,我会当即受理并将下载地址发送给你。

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