《小尺寸半导体器件的蒙特卡罗模拟》

第一章　概论1

1.1　蒙特卡罗模拟发展概况1

1.2　蒙特卡罗模拟概述5

1.3　输运方法概述22

1.4　半导体器件发展中的载流子输运现象42

参考文献74

第二章各种情形下的蒙特卡罗模拟82

2.1　单粒子蒙特卡罗模拟82

2.2　多粒子蒙特卡罗模拟100

2.3　蒙特卡罗通量方法（散射矩阵法）117

2.4　非抛物性能带126

2.5　多谷带和卫星谷130

2.6　价带空穴135

2.7　混合晶体145

2.8　二维电子气153

参考文献169

第三章随机事件的处理173

3.1　确定自由飞行时间的各种自散射方法173

3.2　查表法求自由飞行时间184

3.3　散射终态波矢的选择188

参考文献198

第四章半导体器件的蒙特卡罗模拟199

4.1 器件蒙特卡罗模拟概述199

4.2　物理模型和物理参数203

4.3　器件的几何模型211

4.4　边界和界面218

4.5　网格划分、电荷分配、电场计算和时间步长选取229

4.6 自由飞行和散射的处理238

4.7　初始分布和收敛过程245

4.8　泊松方程求解251

4.9 固定电势分布的蒙特卡罗模拟277

4.10　杂化方法和区域蒙特卡罗模拟288

4.11　载流子稀有区的统计增强294

4.12　器件参数298

参考文献311

第五章　载流子的散射318

5.1　散射率318

5.2　电离杂质散射325

5.3　声学波形变势散射342

5.4　声学波压电散射354

5.5　光学波形变势散射和谷间散射364

5.6　极性光学波散射370

5.7　合金无序散射383

5.8　表面粗糙散射387

5.9　空穴的散射391

参考文献400

第六章　几个专门问题403

6.1扩散、噪声和时间相关函数403

6.2　简并统计417

6.3　载流子间相互作用和等离子激元散射422

6.4　载流子-载流子散射431

6.5　全能带结构蒙特卡罗模拟439

6.6　碰撞电离453

参考文献461

附录1　证明自散射的引入不改变真实散射的时间分布464

附录2　证明单粒子模拟所得分布函数满足玻耳兹曼方程466

附录3　玻耳兹曼方程和漂移扩散模型468

附录4　异质界面电子的量子力学透射系数470

附录5　几种半导体材料的物理参数472

参考文献474

主题索引476