《精密加工技术》

绪论1

一、机械制造技术的发展1

目 录1

二、精密加工技术的现状2

三、精密加工技术的研究内容4

第一章精密加工的理论基础7

§1-1材料的微观特性7

一、晶体结构7

二、材料的强度8

三、材料的缺陷12

四、加工单位与切削阻力13

五、位错的测量15

六、加工极限15

一、概述16

§1-2过渡切削过程16

二、过渡切削过程17

三、最小切入深度19

四、堆积现象21

五、微量切削的碾压过程22

§1-3微量切削的表面质量24

一、刀具切削性能对加工精度的影响24

二、切削过程的分析25

三、工件材料的影响27

四、加工变质层29

第二章精密加工的环境条件35

§2-1隔振35

§2-2热稳定性36

§2-3 防尘与净化38

第三章金刚石刀具切削加工40

§3-1概述40

§3-2金刚石刀具的特点42

一、金刚石刀具的特点42

二、金刚石的结构43

§3-3金刚石刀具切削加工48

一、金刚石刀具的几何形状和结构48

二、金刚石刀具的安装角51

三、切削用量的选择53

四、冷却润滑液的选择55

五、金刚石刀具的磨损56

§3-4金刚石刀具的制造58

一、金刚石的挑选和定向58

二、金刚石的劈开方法60

三、金刚石刀具的刃磨61

四、金刚石刀具的设计65

§3-5金刚石刀具的代用材料66

第四章磨料加工70

§4-1超精密磨削和镜面磨削70

4.1-1超精密磨削70

一、概述70

二、超精密磨削表面形成机理70

4.1-2镜面磨削73

一、概述73

二、镜面磨削表面形成机理73

4.1-3超精密磨削和镜面磨削的表面质量74

一、砂轮特性及其修整对磨削表面粗糙度的影响75

二、磨削用量对磨削表面粗糙度的影响82

§4-2研磨和超精密研磨86

一、研磨86

二、超精密研磨94

三、研磨和超精密研磨实例95

§4-3软粒子研磨和抛光104

一、弹性发射加工（EEM）104

二、机械化学研磨（MCL）和抛光（MCP）106

三、液体动力研磨抛光106

四、磁流体精研109

五、磁力研磨111

§4-4砂带磨削114

一、概述114

三、砂带磨削装置（机床）及其基本结构115

二、砂带及其磨削机理115

四、砂带磨削工艺118

五、砂带磨削工艺实例119

第五章精密加工机床120

§5-1机床的精度指标120

§5-2超精加工机床的实例122

§5-3主轴轴系127

§5-4精密加工机床中的导轨133

§5-5精密驱动系统139

一、精密主轴的驱动139

二、工作台的驱动140

§5-6精密定位、对准及微位移技术142

一、精密定位142

二、对准技术144

三、微位移机构148

第六章微细加工技术152

§6-1概述152

§6-2光刻蚀技术和光电成型加工153

一、光刻蚀技术153

（一）光刻原理153

（二）光刻工艺的一般过程153

（三）光刻工艺特点及发展状况156

二、光电成型加工157

§6-3 电子束加工与光刻技术159

一、电子束加工与光刻的原理159

二、电子束的热效应与电子束加工160

三、电子束的化学效应与电子束光刻161

§6-4离子束加工162

四、电子束加工和光刻的工艺特点162

一、离子束产生的基本原理163

二、离子束加工163

三、离子束加工的特点165

§6-5 X射线复印165

一、X射线的产生原理165

二、X射线曝光装置166

三、X射线复印的几何误差166

§6-6激光加工168

一、概述168

二、激光的产生机理及其特性169

三、激光加工原理及特点171

四、激光加工的应用172

五、影响激光加工精度的主要因素173

参考文献175