《精密测量技术》

第一章 几何量测量概论1

1 绪言1

2 有关测量的基本概念1

一、有关测量的几个术语1

二、测量过程的四个要素2

三、两个评定精度的指标2

3 两个重要的测量原则3

一、阿贝测长原则3

二、圆周封闭原则4

4 计量器具的选择方法5

一、国家检验标准介绍5

二、测量结果的表达式9

三、测量方法的选用实例10

第二章 线纹尺和块规的检定14

1 长度基准和尺寸传递14

2 线纹尺的检定16

一、相对法检定16

二、绝对法检定--光电光波比长仪简介16

3 线纹尺测量的精度计算23

一、绝对测量法的测量误差23

二、定间距互比测量法及其误差分析23

三、组合测量法25

4 块规检定法26

一、柯氏绝对光波干涉仪26

二、JLG-1型激光块规干涉仪30

第三章 长度尺寸的测量32

1 轴类零件尺寸的测量32

一、光学比较仪32

二、0.2微米投影光学计35

三、立式接触式干涉仪36

四、立式测长仪37

五、光学扭簧仪38

六、轴颈测量中的特殊误差40

2 孔类零件尺寸的测量44

一、表面反射式测量仪44

二、小孔径干涉测量仪46

三、NPL自准式测孔仪47

四、用光学灵敏杠杆测量孔径48

五、卧式(万能)测长仪49

3 大尺寸的测量55

一、概述55

二、测长机56

三、激光干涉测长法58

四、用辅助基面法进行测量61

五、用弦高法测量大直径的孔和轴62

六、用滚柱法进行测量63

七、用经纬仪进行测量64

4 微小尺寸的测量66

一、用激光衍射法测量金属细丝直径66

二、用激光能量法测量光导纤维的直径69

三、小间隙的测量方法70

四、其它测量方法71

第四章 形状和位置误差的测量72

1 直线度误差的测量72

一、测量基准72

二、直线度误差的各种测量方法73

三、测量方法的误差分析79

2 平面度误差的测量81

一、两种布线方案的数据联系法81

二、测量方法的误差分析84

3 圆度误差的测量87

一、圆度误差的几何特性87

二、圆度误差的评定方法89

三、圆度仪90

四、V形块法93

4 平行度误差的测量95

一、直线对直线的平行度误差95

二、平面对平面的平行度误差96

5 垂直度误差的测量97

一、直线对直线的垂直度误差97

二、平面对平面的垂直度误差98

6 同轴度误差的测量99

一、小型零件的测量方法99

二、大型零件(或相距较远的部件安装)同轴度误差的测量99

三、同轴度误差测量中的几个重要问题100

第五章 角度及锥度测量104

1 概述--角度基准传递104

2 比较法测量104

3 平台法测量105

一、内角测量105

二、V形槽角度测量108

三、外锥角测量108

四、正弦规(尺)测量角度108

五、正切法测量角度110

4 坐标测量法110

一、在工具显微镜上测量110

二、在坐标测量机上测量110

5 角度块的检定111

一、用正弦规检定111

二、在万能工具显微镜上检定111

三、用光学分度头检定112

四、用光学经纬仪检定113

五、用精密测角仪检定114

6 用光波干涉法测量小角度117

一、光波干涉法118

二、棱镜透镜干涉仪119

7 小角度发生器120

第六章 圆周分度误差的测量122

1 概述122

2 多面棱体的检定122

一、绝对测量法123

二、相对比较测量法126

三、全组合测量法127

3 度盘分度误差的测量139

一、圆周分度误差的评定指标140

二、圆周分度的绝对测量法146

三、圆周分度的相对测量法147

第七章 螺纹测量154

1 圆柱外螺纹的测量154

一、中径d2的测量154

二、螺距p的测量170

三、牙型半角a/2的测量173

2 圆柱内螺纹的测量175

一、中径的测量175

二、螺距和牙型半角的测量179

3 丝杠的测量183

一、概述183

二、螺旋线误差的静态间断测量法184

三、螺旋线误差的动态连续测量法185

四、丝杠测量误差分析188

五、丝杠螺母的测量191

六、滚珠丝杠的测量191

4 圆锥螺纹的测量194

一、概述194

二、圆锥螺纹的主要几何参数195

三、圆锥外螺纹的测量195

四、圆锥内螺纹的测量198

第八章 圆柱齿轮测量199

1 周节累积误差的测量199

一、绝对测量法199

二、相对测量法201

三、跨齿测量法204

2 齿形误差的测量210

一、影象比较法211

二、滚动比较法211

三、坐标测量法212

四、齿形误差曲线图形分析216

3 齿轮整体误差的测量218

一、概述218

二、齿轮整体误差的测量原理218

三、单面啮合间齿测量法220

四、逐齿坐标点测量法--无标准渐开线元件的测量法220

第九章 表面精糙度测量227

1 概述227

2 表面粗糙度标准227

一、表面粗糙度的评定基准227

二、表面粗糙度的评定参数228

3 表面粗糙度的测量方法230

一、与表面粗糙度的标准样板相比较230

二、用双管显微镜测量230

三、干涉显微镜233

四、电动轮廓仪234

五、激光测量法238

六，Sm，S和tp等参数的测量239

第十章 三坐标测量机及其应用241

1 概况241

2 机械结构及测量系统243

一、结构形成243

二、工作台245

三、导向装置--导轨245

四、测量系统246

五、测量数据处理247

六、三坐标测量机的精度249

3 三坐标测量机的应用250

一、多种几何量的测量250

二、实物程序编制254

三、设计一体化255

四、其它应用255