《最近的精密加工和精密测量》求取 ⇩

第一章 总论1

第一节 加工和测量3

第二节 加工技术和测量技术的发展4

第三节 数字测量7

第二章 光学主动测量12

第一节 主动测量12

第二节 比较测量13

第三节 激光测量18

第四节 指示测量(1)--光电式标尺25

第五节 指标测量(2)--刻度尺29

第六节 指示测量(3)--光波干涉法35

第七节 表面粗糙度的测量37

第三章 流体主动测量47

第一节 气动测微仪47

第二节 喷嘴活瓣51

第三节 射流元件52

第四章 电学主动测量54

第一节 电比较测量(结构型)54

第二节 电比较测量(物性型)61

第三节 电指示测量66

第五章 自动测量71

第一节 自动控制尺寸71

第二节 刀具位置的自动修正78

第三节 自动测量和自动分选82

第四节 自动选配和组装85

第六章 形状测量90

第一节 圆度测量90

第二节 圆柱度测量95

第三节 凸轮和齿轮的自动测量101

第四节 三坐标测量机105

第五节 光学测量法116

第七章 绕射光栅和标准尺的刻线123

第一节 全息照相绕射光栅123

第二节 绕射光栅的机械刻线129

第三节 标准尺的刻线137

第八章 半导体、水昌的精密加工和测量143

第一节 照相化学腐蚀加工143

第二节 集成电路的加工和测量146

第三节 薄板水晶振动元件的精密加工和测量156

第九章 照相化学腐蚀法和激光精密加工164

第一节 照相化学腐蚀法精密加工164

第二节 激光精密加工166

第十章 时间序列信息处理171

第一节 利用激光进行音频信号记录和重现171

第二节 加工中时间序列信息的处理178

参考文献187