《精密测试技术》

第一章 测量误差和数据处理1

1--1 测量误差的概念和分类1

一、测量误差的基本概念1

二、测量误差的类型及其规律性1

1--2 测量误差的来源及其处理3

一、偶然误差8

二、系统误差11

三、过失误差的剔除16

1--3 测量结果的数据处理17

一、等精度测量的结果处理17

二、不等精度测量的结果处理25

三、测量结果的有效数字处理29

第二章 电动测量30

2--1 传感器的基本类型及其基本测量电路30

一、电感式传感器及其基本测量电路31

二、电容式传感器及其基本测量电路36

三、差动变压器式传感器及其基本测量电路41

2--2 电动测微仪46

一、概述46

二、基本结构及各部分的作用46

三、电气原理图48

四、外现与主要技术规格50

2--3 感应同步器52

一、感应同步器的结构和特点52

二、感应同步器的工作原理和位移测量系统简介53

第三章 气动测量60

3--1 气动测量原理和气动量仪60

一、气动测量原理和气动量仪种类60

二、指示压力的气动量仪61

三、指示流量的气动量仪--浮标式气动量仪64

3--2 气动测量的静特性67

一、喷嘴挡板机构的形成68

二、平行喷嘴挡板机构的静特性68

三、不平行喷嘴挡板的静特性69

四、喷嘴挡板的压力分布73

3--3 气动测量头的应用及设计74

一、气动测量头的应用75

二、气动测量头设计中的名词及术语77

三、气动测量头设计原则77

四、校对规的设计81

五、测量头的设计步骤81

3--4 气动测量在自动测量中的应用83

一、磨削过程中的自动测量83

二、珩磨时的自动测量85

三、自动线上的气动测量装置86

第四章 光学测量90

4--1 计量光栅的原理和特点90

一、莫尔条纹形成原理90

二、莫尔条纹测量位移的原理及特点95

一、光栅读数头101

4--2 光栅读数头及其在计量中的应用101

二、莫尔条纹讯号的计数和细分108

三、在精密计量中的应用111

4--3 激光的产生及其特点116

一、激光的产生116

二、激光的模及其频率特性126

三、激光的特点133

一、干涉测长原理137

4--4 激光在精密计量中的应用137

二、激光比长仪142

三、激光丝杠动态测量仪148

附录一 光栅衍射156

附录二 细分方案表161

附录三 双频激光干涉仪与机床平直度检验161

一、双频激光干涉原理和特点161

二、激光导轨平直度干涉仪166

附表一 概率函数积分值(正态分布曲线)169

附表二 各种测量工具的极限误差170