《机械加工工艺手册 第2卷 第14章 精密加工及超精密加工》

第14章精密加工及超精密加工1

第1节概述3

1 精密加工和超精密加工的范畴3

2 精密加工和超精密加工方法4

3 影响精密加工和超精密加工的因素7

4 精密加工和超精密加工的特点9

第2节金刚石刀具的超精密切削10

1 金刚石刀具超精密切削机理10

2 金刚石刀具超精密切削机床13

3 金刚石刀具的设计与刃磨23

4 金刚石刀具超精密切削的应用28

5 金刚石刀具切削加工误差的影响因素29

第3节超精密磨料加工31

1 精密磨削和超精密磨削31

2 精密和超精密砂带磨削33

3 精密和超精密研磨40

4 精密和超精密抛光42

第4节超精密特种加工48

1 超精密特种加工方法48

2 电子束加工49

3 离子束加工50

第5节超精密加工的测量和误差补偿51

1 超精密主轴系统及其动态精度测量51

2 误差补偿技术52

3 表面粗糙度的非接触式测量53

第6节精密定位、对准和微位移技术54

1 精密定位54

2 对准54

3 微位移机构55

第7节超精密加工的工作环境58

1 恒温58

2 净化59

3 防振和隔振59

参考文献61