《超精密加工基础技术》求取 ⇩

目录1

1、超精密加工机床的结构1

2、超精密加工机床的驱动方式17

3、使用压电执行元件的微量定位28

4、超精密加工用的静压轴承(主轴)48

5、超精密加工用的导轨机构65

6、超精密切削加工的金刚石刀具82

7、超精密加工机床的环境温度的控制98

8、超精密加工环境的设计—基础部分111

9、超精密加工环境的设计—应用部分135

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