《表3 外围子孔径检测系统及相关光学元件的参数》

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《一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法》

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由于外围子孔径具有旋转对称性，所以仅需要设计一块CGH就能实现对外围8个子孔径的面形检测。以中心子孔径上方的子孔径为例，外围子孔径沿着X轴的横向位移为300 mm，并且将待检镜绕着Y轴旋转5.712°。外围子孔径的检测光路沿用中心子孔径的照明透镜，检测光路的设计参数如表3所示。CGH的横向位移为27.44 mm，如图5（a）所示，CGH主区域的尺寸为194 mm，最小线宽为36.5μm。所有干扰级次的鬼像都能够被有效分离，距离最近为（0，2）和（2，0）级次，距目标焦点为1.2 mm，如图5（b）所示。CGH的设计残差为RMS 0.0013λ，PV 0.006 0λ。