《表2 子孔径斜率扫描系统误差分配方案》

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《哈特曼原理子口径斜率扫描检测及误差研究》

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常规光学系统的近衍射极限为λ/14；作为高精度的光学检测，其光学检测精度指标需达到待检光学系统精度的两倍（λ/28）。在此基础上提出一种对子口径斜率扫描检测系统中的误差在现有可控误差变化量范围合理的误差分配方案，如表2所示。