《表1 光学软件仿真波面与子口径斜率扫描联合仿真波面对比》

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《哈特曼原理子口径斜率扫描检测及误差研究》


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由表1可知,以上两种像质条件下,全口径自准直检测仿真结果与子口径斜率扫描再重构波面计算机联合仿真结果的波面均方根值偏差均接近1%;子口径斜率扫描在不存在误差的情况下重构复原波面精度较好,此检测方式具有良好的可行性。