《表1 光学软件仿真波面与子口径斜率扫描联合仿真波面对比》
由表1可知,以上两种像质条件下,全口径自准直检测仿真结果与子口径斜率扫描再重构波面计算机联合仿真结果的波面均方根值偏差均接近1%;子口径斜率扫描在不存在误差的情况下重构复原波面精度较好,此检测方式具有良好的可行性。
图表编号 | XD0065907600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.08.25 |
作者 | 赵宪宇、薛栋林、程强 |
绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |