《表2 中心子孔径检测系统及相关光学元件的参数》

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《一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法》

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对于CGH而言，使用Zernike的前37项来拟合其位相分布，通过引入合适的离焦载频和倾斜载频，并结合放置在焦平面的小孔光栏使得鬼像级次能够被完全分离，中心子孔径的检测光路以及主要光学元件的相关参数如表2所示，检测光路图、鬼像级次的分离情况如图4所示。CGH加工在一块厚度为10 mm的BK7玻璃基板上，CGH的主区域的尺寸为168 mm，并且其最小线宽为39.7μm，照明透镜的口径为420 mm，其凸面的曲率半径为1 150 mm。