《表4 中心子孔径检测系统中光学元件加工、调整的敏感度分析》

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《一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法》

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以上述中心子孔径的检测光路为例，进行敏感度分析。假设该检测光路中的误差源都是相互独立的，通过Zemax中蒙特卡洛分析得到各个误差源对波前的影响，分析结果如表4所示。从表中可以发现，处于非共光路中的照明透镜相关参数的误差对检测结果均有较大的影响，如照明透镜凸面的曲率半径、光学材料的折射率均匀性等。通过对各个误差源的分析可以得出单个子孔径的检测精度为0.017λ（10.7 nm）。