《表1 不同压力下BN的沉积速率[37]》

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《SiC_f/SiC复合材料氮化硼(BN)界面层及其复合界面层研究进展》

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王梦千等[37]研究发现，在BCl3-NH3-H2-N2摩尔比为1∶3:1∶6，T=650℃的条件下，在3～12 kPa范围内沉积速率先升后降，压力为5 kPa时沉积速率最高。沉积速率如表1所示。