《表2 不同沉积压力下，样品的弯曲强度》

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《化学气相沉积(CVD)工艺对ZnS力学性能影响的研究》

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通过图2可以看出，随着沉积压力降低（真空度升高），CVD ZnS的平均晶粒尺寸也不同程度的减小，分别对以上3种沉积压力下的4组样品进行弯曲强度测试，验证其力学性能，测试结果如下表2。