《表3 CVDZnS样品弯曲强度测试结果》

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《沉积温度、压力对CVDZnS晶粒尺寸及性能的影响》

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样品A～样品I的弯曲强度测试结果如表3所示，图6为样品A～样品I的弯曲强度值分布。样品A～样品I的弯曲强度值变化幅度较大，最大值为121MPa，最小值为103 MPa，说明沉积工艺对材料材料的力学性能较大。在沉积压力不变时，对于样品A～样品G随着温度的升高，材料的弯曲强度先升高再降低；在沉积温度不变时，样品A、样品D、样品G，样品B、样品E、样品H与样品C、样品F、样品I的弯曲强度值均有先升高后降低的趋势，这一变化趋势与晶粒尺寸的形状从“棒状”向“球状”再到“棒状”演化是有关系的，平均纵向晶粒尺寸和平均横向晶粒尺寸的比值越接近“1”，对材料的弯曲强度越有利。因此，样品A～样品I的弯曲强度先升高后降低的变化趋势是沉积温度和沉积压力双重因素作用下的结果，于是得出在沉积温度为650±10℃、沉积压力为7 000±200 Pa时弯曲强度达到最大值121 MPa。