《表4 HATT和HXTT在铜表面的吸附热力学参数》

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式中:Kads为吸附平衡常数,为拟合曲线截距的倒数;Kads值越大,表明缓蚀剂在铜表面的吸附作用越强[19,44-45]。由于HATT或HXTT在铜表面的吸附符合Langmuir模型,表明它们的吸附为单层吸附,在铜表面形成单层自组装膜。另外,吸附过程的自由能变可由公式(5)[18,46]计算,结果列于表4中。