《表1 重离子参数：130nm体硅反相器链的单粒子瞬态脉宽特性研究》

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《130nm体硅反相器链的单粒子瞬态脉宽特性研究》

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重离子实验在中国科学院近代物理研究所的重离子加速器上进行，实验选用的重离子的能量、LET值及在硅中的射程如表1所示。重离子垂直测试芯片轰击，注量为1×107个离子/cm2。实验过程中，通过片上检测电路检测捕捉目标电路发生SET脉冲效应时的脉宽和个数。