《表1 ITO退火由时间缩减到省略的实验设计及产品透过率》

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《ITO退火工艺对HADS型TFT-LCD透过率的影响》

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基于生产效率的提升，充分利用后工段PI烘焙对两道ITO退火的补偿作用，对ITO退火由时间缩减到直接省略设计了阶梯实验，产品透过率的测试结果如表1和图3所示。在两道ITO退火都缩减至10min时产品的透过率基本不变。进一步地将2nd ITO退火省略，产品的透过率也未发生明显变化，这与此前的研究结论基本相符[7]。最后选择将1st ITO退火直接省略，产品的透过率则发生了明显的降低（各波长透过率的平均值下降约4%）。