《表2 WO3薄膜透过率及响应时间》

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《WO_3薄膜制备及其电致变色性能研究》

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图7为制备的WO3薄膜1～5号样品WO3薄膜双电位阶跃计时电流曲线。从图中1～4可以看出随着溅射功率增大WO3薄膜计时电流响应的单位面积电流峰值有先增大后减小的趋势。溅射功率为270W下制备的WO3薄膜在计时电流测试中单位面积电流峰值最大，Ip和In电流值为+9.2m A/cm2和-4.1m A/cm2。而溅射功率为100W下制备的WO3薄膜在计时电流测试中单位面积电流峰值最小，Ip和In电流值为+1.1m A/cm2和-1.3m A/cm2。这表明溅射功率为270W下制备的WO3薄膜具有更多Li注入和抽出通道和更大离子和电子存储空间。从图7的注入电荷密度曲线也可以看出溅射功率为270W制备的WO3薄膜（3号样品）在相同条件下注入的电荷量高达31.5cm2/C。表2为薄膜的响应时间，可以看出薄膜着色时间相对比褪色时间长。随着溅射功率增大薄膜响应时间变快，测试电流密度响应峰值急剧增大，此时致色性能较好，而随着功率继续增大薄膜响应时间相对变慢，测试电流密度响应峰值也相对减小，即表现出致色性能退化。总之，270W时制备的薄膜具备最好的电致变色性能。而通过对比分析3号样品和5号样品，发现经过退火处理后WO3薄膜由非晶态结构转变为晶态，其WO3薄膜电致变色响应时间特性变长。这是因为在室温下溅射功率为270W制备WO3薄膜为三维无序网状的非晶态结构，其结构空间容量大且表面的比表面大呈颗粒状分布，响应时间快。而经过退火处理后，表面出现细微裂缝且结构结晶化等，导致响应时间延长。