《表1 标定结果对比：改进型微悬臂梁弹性常数标定系统》

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《改进型微悬臂梁弹性常数标定系统》

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由图10和图11可得，两种微悬臂梁的单次标定结果具有良好的线性度，残差均在0.7%以内，拟合结果作为该次测量的微悬臂梁法向弹性常数。在此基础上进行近40次重复性测量，测量结果显示，与平均值相比，单次结果的相对偏差在1%以内。将测量结果与微悬臂梁的标称值比较可得，本系统测量结果均在标称值范围内。