《表1 技术指标:微小型MEMS测试标定实验仪伺服系统设计》

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《微小型MEMS测试标定实验仪伺服系统设计》


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为使所设计的测试标定系统能够对采用串行外设接口(Serial Peripheral Interface,SPI)和串口输出数字信号的MEMS传感器进行测试标定,系统可进行MEMS加表、陀螺性能参数的测试标定以及微型惯性测量单元(Miniature Inertial Measurement Unit,MIMU)的安装误差标定.通过MIMU的标定实验可得到MEMS加表和MEMS陀螺的标度因数、零偏以及MIMU的安装误差,既可以实现器件的标定,也可用于性能筛选领域.平台系统设计的技术指标如表1所示.