《表1 传感器不同温度下的Q值》

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《基于微波后向散射原理的介质调谐型薄膜温度传感器》

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计算不同温度下传感器的Q值如表1所示，远远高于LC无源传感器[13]的Q值，这说明其有很大潜力工作于远距离无线测试。还可以看出传感器的Q值随温度的升高大致呈现先增大后减小的趋势，推测是因为基底氧化锆材料的损耗角正切tanδ随温度升高先增大后减小，导致材料对微波能量的消耗先增大后减小所致。