《表3 键合点变形测量结果统计表》

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《预热温度对热超声楔焊键合强度的影响》

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对表2中所有包含预热温度130℃及以上的键合组合，键合点变形情况依据GJB548方法2010合格判据“1.2D≤W≤3.0D；1.5D≤L≤5.0D”进行分析，典型键合点照片如图6所示，键合点变形测量结果见表3。