《表2 XRD谱图的关键数据》

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《高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能》

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溅射功率为210 W时所得典型（AlCrNbSiTiV）N薄膜的XRD分析结果见图3和表2。从中可知，该薄膜是由单一面心立方（FCC）或多个体心立方（BCC）构成的固溶体结构，各氮化物之间相互固溶[3]。另外，AlCrNbSiTiV高熵合金中元素种类较多，且各元素的原子都是溶质原子，原子的尺寸差别大，晶格严重畸变，使晶格坍塌而形成非晶相[3]。