《表4 微纳阵列扫描结果：基于微纳阵列的光度学海水透明度测量仪设计》

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《基于微纳阵列的光度学海水透明度测量仪设计》

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由于DBR决定禁带的范围，若要增加阵列的分光范围就必须从DBR入手对阵列进行改进，即增加DBR衬底的数量，由一个DBR衬底变为两个DBR衬底，构成多衬底、多腔微纳阵列。如何利用两个衬底达到的分光范围最宽、效果最好是多衬底、多腔微纳阵列仿真重点解决的问题。前期实验一直以dL=90nm、dH=39nm的DBR为衬底，通过仿真确认，dL=70nm、dH=30nm和dL=110nm、dH=48nm两个DBR分光范围重叠的部分较少，以这两个DBR为衬底的微纳阵列的分光范围可覆盖整个可见光波段，仿真结果如图10和表4所示。