《表2 多腔BRW阵列扫描结果》

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《基于微纳阵列的光度学海水透明度测量仪设计》

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多腔BRW是由同一衬底、不同厚度中心腔的BRW组成。前面实验仿真可知，SU-8的厚度H1、超表面的厚度H2、SU-8的边长L1、超表面的边长L2都对缺陷模的中心波长有影响，因此需要对4个要素进行整体仿真，得到多腔BRW阵列扫描结果，如图6和表2所示。