《表3 多腔微纳阵列扫描结果》

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《基于微纳阵列的光度学海水透明度测量仪设计》

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通过图9和表3中的数据可以看到缺陷模的调控范围只有450～680nm，小于DBR衬底的禁带范围，即禁带内的有些区域无法产生缺陷模，这是由于缺陷模在禁带中周期出现导致的。从图9可以看到，当SU-8的厚度为100nm且超表面的边长超过140nm时，图像的底部（400nm）开始出现另一个缺陷模，而且该缺陷模也会随着SU-8厚度和超表面边长的增加而发生红移，导致在一个禁带内产生两个缺陷模，由于缺陷模的周期性出现是不可避免的，而双缺陷模会影响光线采集，因此SU-8和超表面对缺陷模中心波长的共同调控作用是有限的，即单衬底、多腔微纳能在窄波段内进行光电采集，不能覆盖全可见光波段。