《表1 等径生长阶段晶体数据》

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《基于提拉法生长激光晶体的高精度称重系统设计》

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称重系统是激光晶体生长控制设备中必不可少的一部分，通过称重系统精确测量激光晶体重量，计算得出激光晶体重量生长率，控制激光晶体生长速率，在指导激光晶体生长过程中起到非常重要的作用。将满足称重要求的激光晶体高精度称重系统投入激光晶体生长控制系统中使用，通过激光晶体生长系统实际运行，数据库实时记录激光晶体生长数据，截取的数据库中激光晶体等径生长阶段的部分记录数据如表1所示。