《表1 改进工艺拉晶对比:软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析》
通过重新设计与配置热场,改变放肩工艺、调整控制条件后。较好解决问题[4],表1为工艺改进前后拉晶情况对比。
图表编号 | XD00113284600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.25 |
作者 | 张志坚、池蓉、罗凤灵 |
绘制单位 | 云南云芯硅材股份有限公司、云南科力新材料股份有限公司、云南云芯硅材股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
通过重新设计与配置热场,改变放肩工艺、调整控制条件后。较好解决问题[4],表1为工艺改进前后拉晶情况对比。
图表编号 | XD00113284600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.25 |
作者 | 张志坚、池蓉、罗凤灵 |
绘制单位 | 云南云芯硅材股份有限公司、云南科力新材料股份有限公司、云南云芯硅材股份有限公司 |
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