《表1 改进工艺拉晶对比:软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析》

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《软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析》


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通过重新设计与配置热场,改变放肩工艺、调整控制条件后。较好解决问题[4],表1为工艺改进前后拉晶情况对比。