《表1 等离子炬晶体生长炉参数》

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《等离子炬焰熔法单晶生长炉温场分布的仿真模拟》

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等离子炬与单晶生长炉的基本结构[5]见图1，等离子炬单晶生长炉的功率为60 k W，射频频率为1.9 GHz，金红石单晶体的熔点是1 850℃，观察孔和生长界面处于同一水平面，距离入口边界220 mm。等离子炬晶体生长炉参数见表1。