《表1 石墨套筒的参数:单晶炉双驱感应加热数值模拟研究》

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《单晶炉双驱感应加热数值模拟研究》


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炉体主要结构如图1所示,主要由石墨套筒—感应线圈—挡板构成.其中线圈由3 mm的空心铜管绕制而成,挡板为硅钢材料.石墨套筒的参数如表1所示.