《表2 金属颗粒制备工艺Tab.2 The preparation process of metal nanoparticles》

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《基于MIM结构与金属纳米颗粒双调制的结构色制备》


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我们首先制备了150nm的最下层金属Ag膜,然后再镀上一层46nm的Al2O3空间介质层,最后在最上层制备出4种不同材料及形貌的金属颗粒层,形成的表面形貌如图2(b~e)(见第98页) 所示,对应的材料和工艺条件如表2所示.