《表1 加速度计的结构尺寸》

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《基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计》

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由式（8）和（9）可知加速度计的梁长、梁宽、梁厚会对固有频率和应力产生影响。参考电子科技大学赵源[7]设计的加速度计，敏感梁长、宽、厚分别为375、100和10μm，然后改变其长、宽、厚进行仿真，结果如图3所示。由图3可知，梁长与加速度计固有频率是负相关关系，与梁上最大应力值是正相关关系，符合理论条件。增大梁宽或梁厚可以提高固有频率和抗横向耦合性，但会使最大应力值减小，即降低加速度计灵敏度。综合梁参数对最大应力与固有频率的影响，选择固有频率曲线与最大应力值曲线的交点，得到加速度计梁结构尺寸，如表1所示。