《表1 两种加速度计梁尺寸参数》

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《四腿菱形变截面梁微加速度计结构设计与研究》

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在满足强度要求下，要适当减小Y轴刚度k，提高系统灵敏度，但又不能过小，否则会使系统固有频率过低。从稳定性方面分析，主要考虑Y轴方向的刚度，选取Y轴刚度为最大值时的尺寸，而此时梁Z轴的刚度为Y轴刚度的16.7倍，能很好的减少Z轴方向刚度对Y轴方向检测的影响，且Y轴方向能够检测到更大的量程。菱形变截面梁尺寸，如表1所示。当a、b均为常数时，梁为等截面梁，当其满足下列等式时，可计算出等截面梁的尺寸：