《表5 优化结果与原始结果比较Table 5Comparison of optimization results and original results》

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《基于田口法的CSP器件结构优化设计》


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通过有限元模拟最优参数组合的可靠性,结果表明蠕变应变能密度降低至0.45 MPa,低于表3中任一组试验得到的蠕变应变能密度.对最优参数设计和原始参数设计进行对比,如图5和表5所示,最优参数设计相比于原始参数设计,蠕变应变能密度降低了65.4%,信噪比提高了9.22 d B.因此,在CSP器件优化设计过程中,应用田口试验法可以获得很好的优化效果.