《表1 调焦机构各部分误差Tab.1 Errors of focusing mechanism (μm)》
调焦机构中还存在蜗轮蜗杆的综合齿形误差、滑槽升程的加工误差、步进电机步距角的偏差。这些误差将导致调焦机构直线运动的线性度下降。上述误差实测后通过传动系统折算到调焦直线滑台上,偏差如表1所示。
图表编号 | XD0022424400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.12.01 |
作者 | 姜紫庆、贾建军 |
绘制单位 | 中国科学院大学、中国科学院上海技术物理研究所、中国科学院大学、中国科学院上海技术物理研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
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