《表1 MEMS火工品与传统火工品的主要区别Tab.1 Differences between MEMS and traditional initiators》

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《微机电火工品薄膜结构换能元》

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本文研究主要选取Ni、Cr[10]、Pt[11-12]、W[4]、Cu和Al等6种不同金属作为桥区电阻材料，以硅、7740玻璃作为基底材料，进行了薄膜结构换能元样品的设计与制备，重点研究了桥区不同电阻材料、基底材料、薄膜厚度及桥区结构形状等对薄膜换能元电阻特性、热电响应性能的影响规律，为MEMS火工品薄膜结构换能元材料优选与样品设计提供支持。