《表2 5组磨痕的相关参数》

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《基体负偏压对掺Cu类金刚石薄膜摩擦学性能的影响》

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图5为不同负偏压下制备的Cu-DLC薄膜经过摩擦磨损实验后5组磨痕的3D超景深显微图，不同的颜色表示不同深度。通过分析计算将平均磨痕深度及磨损量列入表2。由图5和表2可知，在负偏压为100V时所制备的薄膜磨痕深度最小，为9.4μm，此时磨损量亦最小，其余4组磨痕均有不同程度的沟壑出现并且较深。