《表1 额定绝缘水平：占空比对铜/金刚石复合材料表面离子镀AlN膜层组织与性能的影响》

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《占空比对铜/金刚石复合材料表面离子镀AlN膜层组织与性能的影响》

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（2）镀Al N膜镀膜设备采用M2P-4-650型多弧真空离子镀膜机。工作时，抽真空到4.0×10-3Pa后，充入Ar气到0.5 Pa；对基体进行辉光清洗5 min后，关Ar气并充入N2引燃电弧开始沉积Al N膜层。具体镀膜工艺参数如表1所示。