《表2 各元素所占比例：等离子体氟化改性微米AlN填料对环氧树脂绝缘性能的影响》

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《等离子体氟化改性微米AlN填料对环氧树脂绝缘性能的影响》

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式中，p为测算比例；下标e为待测元素；下标i为样品中所有组成元素；C为元素光电子峰强度；S为原子灵敏度因子。主要元素所占比例计算结果见表2。等离子体处理45min后填料内氟元素占比可达38.55%，填料的化学组分发生明显的变化。