《表4 离子镀的主要硬质化合物膜层的特性》

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《第二十讲 真空离子镀膜》

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离子镀技术特别适用于沉积硬质薄膜。离子镀硬质耐磨镀层广泛应用于刀具、模具、抗磨零件作超硬抗磨损保护膜。常用膜系包括Ti N，ZrN，Hf N，Ti AIN，Ti C，Ti CN，CrN，Al2O3等，此外，还有更坚硬的类金刚石（DLC），Ti B2和碳氮（CNx）膜。离子镀制备的主要硬质化合物膜系的性能如表4所示。