《表3 离子镀膜的特点及用途》

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《第二十讲 真空离子镀膜》

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由于离子镀具有上述特点，所以其应用范围极为广泛。利用离子镀技术可以在金属、合金、导电材料，甚至非导电材料（采用高频偏压）基体上进行镀膜。离子镀沉积的膜层可以是金属膜、多元合金膜、化合物膜；即可镀单一镀层，也可镀复合镀层，还可以镀梯度镀层和纳米多层镀层。采用不同的膜材，不同的反应气体以及不同的工艺方法和参数，可以获得表面强化的硬质耐磨镀层，致密且化学性质稳定的耐蚀镀层，固体润滑镀层，各种色泽的装饰镀层，以及电子学、光学、能源科学等所需的特殊功能镀层。目前，离子镀技术和离子镀的镀层产品已得到非常广泛的应用。表3给出了适用于不同基片材料上的离子镀膜及其用途。