《表3 洁净室过滤单元布置率及面风速》

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《电子工业洁净厂房净化空调系统设计》

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取洁净车间的洁净等级对应风量和消除室内余热所需风量两者之间的大者，作为洁净循环风量的设计值。洁净工艺区设计、计算选型后的过滤单元（规格1.20 m×1.20 m）总台数约4 850台，各洁净分区过滤单元布置率及面风速见表3。2.5级洁净区过滤器选取欧标U16（MPPS≥99.999 95%），4.5级和5.5级洁净区过滤器选取欧标U15（MPPS≥99.999 5%），6.5级洁净区过滤器选取欧标H14(MPPS≥99.995%），机外静压需求约150 Pa。