《表1 洁净室技术参数：电子工业洁净室风机过滤器机组关键参数检测方法》

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《电子工业洁净室风机过滤器机组关键参数检测方法》

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选取某电子工业厂房中二层洁净区域，洁净室详细技术参数如表1所示。洁净区测试主要包括空态、静态和动态3种方式。其中，空态是指洁净室内设施已建成、动力已接通并运行，但无生产设备、物料及人员状态；静态是指设施已建成，生产设备已安装而无人员的状态；动态是指设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行检测的状态。本工程对洁净区空态下的FFU性能开展检测，主要包括FFU出口风速、送风均匀性和高效过滤器完整性。