《表1 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级表》

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《洁净室简介及施工总结》

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2001年11月，中国国家质量监督检验检疫总局与建设部参照ISO 14644-1标准联合修订并发布了《洁净厂房设计规范》（GB50073—2001），代替原国家标准GBJ73—84。新标准以每立方米空气中含0.1μm的微粒数量为依据将空气洁净度划分为9个等级，如表1所示。